蘋果，還是橙子？

沒錯(cuò)，各位親，今兒咱們從“蘋果”和“橙子”開始嘮。。。

英文中“Apple and orange”,是一個(gè)習(xí)慣用語(yǔ)；說(shuō)的是事物之間沒有可比性，有點(diǎn)像中文的“風(fēng)馬牛不相及”。

然而這蘋果和橙子，到底有何不同？讓我們用ZYGO白光輪廓儀看個(gè)究竟吧。

測(cè)試方式如上圖，測(cè)試配置如下：

ZYGO Zegage Pro白光輪廓儀；
10X干涉物鏡，2.5mm*2.5mm范圍內(nèi)拼接；

數(shù)據(jù)分析使用0.008mm-0.8mm帶通濾波

上圖是測(cè)試結(jié)果。各位親猜猜看，哪個(gè)是蘋果，哪個(gè)又是橙子呢？

做3D表面形貌分析時(shí)，往往用光譜顏色變化，來(lái)輔助標(biāo)識(shí)高度。通常以藍(lán)色表示相對(duì)低的區(qū)域，而沿著光譜，自藍(lán)色向紅色變化，就代表著高度相對(duì)增加。

再看這兩個(gè)表面，左圖色彩斑斕，看起來(lái)有點(diǎn)“糙”，是不是？。。。

不過(guò)這兩個(gè)結(jié)果沒有標(biāo)識(shí)測(cè)試區(qū)域大小，可能有陷阱哦，畢竟宏觀和微觀視角下，表面形貌可能大有不同呢。

那讓我們標(biāo)識(shí)橫向尺寸吧：

橫向尺寸標(biāo)注好了，兩個(gè)結(jié)果視場(chǎng)范圍都是：2.5mm*2.5mm。嗯，看起來(lái)左圖“毛毛糙糙”，是不是。。。？

等下，雖然橫向尺寸標(biāo)注了，可縱向高度沒有單位，以上兩圖形貌的起伏變化，實(shí)際代表分別是多高呢？

那讓我們標(biāo)識(shí)縱向尺寸吧：

哈，這下有些眉目了。原來(lái)在左圖里，紅色代表的*高點(diǎn)是+10um，藍(lán)色代表的*低點(diǎn)時(shí)-10um；而右圖的紅色高點(diǎn)代表+100um，藍(lán)色低點(diǎn)代表-100um。

右圖的形貌高低起伏，范圍是~200um；實(shí)際 是左圖~20um的十倍。看來(lái)，誰(shuí)是蘋果，誰(shuí)是橙子有線索了。

由于“色譜標(biāo)識(shí)高度”時(shí)，一般默認(rèn)采用自動(dòng)適應(yīng)動(dòng)態(tài)范圍的方式，總是用紅色標(biāo)識(shí)*高點(diǎn)，藍(lán)色表示*低點(diǎn)，而不是以實(shí)際高度改變顏色，所以左圖會(huì)給人一個(gè)錯(cuò)覺，“顏色變化更劇烈，好像是更粗糙”。

那讓我們改變色譜標(biāo)識(shí)自適應(yīng)動(dòng)態(tài)范圍的方式，將色譜標(biāo)識(shí)范圍手動(dòng)設(shè)定到+/-100um吧：

哈哈，這下藏不住了！

在ZYGO Zegage Pro白光輪廓儀同樣的測(cè)試區(qū)域，同樣的高度標(biāo)尺，同樣的色譜變化范圍設(shè)置下，可以一目了然地從形貌起伏，顏色變化，看出哪個(gè)更光滑，那個(gè)更粗糙了！

總結(jié)一下：

各位親，雖然3D形貌地圖配合色譜圖，非常直觀；但橫向測(cè)試范圍，縱向高度尺度也很關(guān)鍵，否則可能會(huì)指鹿為馬哦！